溫度測量
Photrix-光管型
Photrix高溫計
單晶藍寶石用作光學鏡頭，又稱光導管，可以最大程度地發(fā)揮Photrix在侵蝕性的化學環(huán)境非接觸測溫的性能。該配置常用于真空處理室和反應器中。
- 產品概覽
- 技術規(guī)格
30 至 670 °C ，波長 700-1650 nm
70 至 110 °C ，波長 1550 nm
210 至 1300 °C ，波長 900 nm
220 至 1300 °C ，波長 880
快速響應 (1ms)
測量精度 +/- 1.5 °C 或讀數 0.15% of reading
重復精度 0.01 °C (see TN-828)
半導體
CIGS太陽能薄膜電沉積
非晶硅薄膜沉積
CZ 晶體生長
詳細說明
PhotriX 系列高精度紅外測溫儀具有業(yè)界最佳的信噪比. 能夠以無與倫比的精度測量較低的溫度，以控制高價值工藝和研究應用. 采用藍寶石光棒(所謂的 “光管”) 作為鏡頭收集來自目標的紅外輻射. 光管鏡頭的優(yōu)點是可提供較低的溫度測量值，并易于集成到通常用于高級材料沉積（生長）和蝕刻（去除）工藝的真空反應器中.
光管型 Photrix 提供 4 種響應波長，具有以下特點:
低溫測試能力 (詳見下表)
選配件包括模擬模塊 ( 4-20 mA 或 0-10V), 帶鏡頭吹掃的保護套, 8通道模塊。標準配置已包含所有必要的電纜，電源以及軟件和文檔.
典型應用
配置選項
| 溫度范圍 | ||||||
| Celsius | Fahrenheit | |||||
| P/N號 | 響應 波長 | 直徑2mm 光管鏡頭 | Min (°C) | Max (°C) | Min (°F) | Max (°F) |
| ML-GAPX-LP2-XXX | 700-1650 nm | XXX mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-GAPX-LP2-XXX-SS-YYY | 700-1650 nm | XXX mm length, 藍寶石護套 YYY mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-GAPX-LP2-XXX-SQ-YYY | 700-1650 nm | XXX mm length, 石英護套 YYY mm length | 30 | 670 | 86 | 1238 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX | 880 nm | XXX mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX-SS-YYY | 880 nm | XXX mm length, 藍寶石護套 YYY mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/088-LP2-XXX-SQ-YYY | 880 nm | XXX mm length, 石英護套 YYY mm length | 220 | 1300 | 428 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX | 900 nm | XXX mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX-SS-YYY | 900 nm | XXX mm length, 藍寶石護套 YYY mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-AAPX/090-LP2-XXX-SQ-YYY | 900 nm | XXX mm length, 石英護套 YYY mm length | 210 | 1300 | 410 | 2372 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX | 1550 nm | XXX mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX-SS-YYY-Y | 1550 nm | XXX mm length, 藍寶石護套 YYY mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
| ML-GAPX/155-LP2-XXX-SQ-YYY | 1550 nm | XXX mm length, 石英護套 YYY mm length | 70 | 1100 | 158 | 2012 |
