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溫度測量
紅外測溫儀
紅外測溫儀或者高溫計通過測量物體輻射的紅外能量來計算物體的表面溫度。
在許多行業(yè),使用非接觸測溫儀器是一項重要的技能。比如,為了保證產(chǎn)品的一致性,對整個工藝流程進行控溫或者對小尺寸工件測試。
我們提供的產(chǎn)品包括用于激光加工等要求高速響應(yīng)的KLEIBER高溫計;用于IC產(chǎn)業(yè)薄膜生長的,需要發(fā)射率實時修正的BASF Exactus高溫計;用于爐膛出口煙溫測量的PCS MY 45高溫計;用于低溫高速測量的SSS-4M系列高溫計等等。
為便于用戶進行選擇,我們暫且分為四大類產(chǎn)品,包括通用測溫儀,高速測溫儀,便攜測溫儀,半導(dǎo)體測溫儀。
其中通用型測溫儀涵括波段位于 0.55-14 μm之間的各類固定式測溫儀;
高速測溫儀則主要指響應(yīng)速度在微秒級別的快速測量高溫計包括6μs響應(yīng),10μs響應(yīng),40μs響應(yīng)響應(yīng),80μs響應(yīng),180μs響應(yīng)以及300μs響應(yīng)的產(chǎn)品;
便攜式測溫儀主要為波段3.9 μm以下的手持式高溫計,有單色高溫計和雙色高溫計,有通用波段的高溫計也有特殊波段的高溫計;
半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用較多的是晶體生長階段,主要是Si探測器和銦鎵砷探測器,包含雙色和單色的。由于應(yīng)用已經(jīng)極為廣泛,這里不再單獨分類。此處半導(dǎo)體高溫計主要指外延生長工藝中所使用的被大量集成在MOCVD、MBE設(shè)備上的應(yīng)用成熟的高溫計如: BASF Exactus高溫計,在北微和晶盛以及意法取得了廣泛應(yīng)用.