溫度測(cè)量
Aixtron MOCVD 紅外測(cè)溫系統(tǒng)
Aixtron G3和G4設(shè)備上采用了光導(dǎo)管紅外測(cè)溫系統(tǒng),工作波段1550nm,溫度范圍100-1700℃。系統(tǒng)由光導(dǎo)管,光纖,傳感器,數(shù)字模塊、模擬模塊等備件構(gòu)成。
Aixtron G3和G4設(shè)備上采用了光導(dǎo)管紅外測(cè)溫系統(tǒng),工作波段1550nm,溫度范圍100-1700℃。系統(tǒng)由光導(dǎo)管,光纖,傳感器,數(shù)字模塊、模擬模塊等備件構(gòu)成。