溫度測量
Aixtron MOCVD測溫系統(tǒng)
用于Aixtron G3和G4設備的非接觸測溫系統(tǒng).
Aixtron MOCVD測溫系統(tǒng)由BASF按照Luxtron的要求為Aixtron Mocvd設備訂制的Phorix特別型號,工作波長1550nm,測溫范圍100-1700℃,通常由四部分組成,包括:型號00-14265-01的溫度傳感器套件,型號00-14366-01的模擬模塊,型號00-14266-01的柔性光纖以及型號00-14089-01的光導管。