EX-S-3FP
BASF Exactus高溫計
BASF Exactus? EX-S-3FP高溫計主要用于類LPE公司SIC外延設備的控溫系統(tǒng),常見測溫范圍130-2200℃，精度高達1.5℃, 重復性0.1℃。
- 產品概覽
- 技術規(guī)格
使用短波進行低溫測量
精密度高, 分辨率達 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC
測溫重復性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年
測量速度達 1,000 值 / 秒
數(shù)字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統(tǒng)
RTP控溫
MOCVD控溫
MBE控溫
溫度標準器
主要特點
詳細說明
作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先驅者, BASF已將其溫度測量技術專長應用于光學溫度測量。BASF Exactus?紅外溫度傳感器（EI100 / EI110）取得了技術性突破，在非接觸式溫度測量中表現(xiàn)出了顯著的性能優(yōu)勢。與其他同類產品相比，其靈敏的電子技術、精密光學技術以及利用短波長測量低溫的能力使得過程控制更加嚴格、精度更高、整體性能更好.
BASF Exactus?的原創(chuàng)紅外技術在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢：高度敏感的電子學和先進的光學技術意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能，這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外，高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能， 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產工藝。
BASF Exactus?系列紅外測溫儀已廣泛用于快速退火、快速氧化、薄膜沉積等半導體工藝，并被集成在多家MOCVD設備以及其他RTP設備上如：AIXTRON, LPE，Premtek等。另外，由于其具有很高的測溫精度和穩(wěn)定性，也被一些高溫黑體爐廠家作為溫度標準器使用，如Thermogauge公司。
BASF Exactus? EX-S-3FP紅外測溫儀整套配置包含EI110傳感器，光纖，IFD5數(shù)字模塊，IFA5模擬模塊，綠激光筆，配套線纜及相應的安裝支架.該型號主要用于類LPE公司SIC外延設備的控溫系統(tǒng),常見測溫范圍130-2200℃，精度高達1.5℃, 重復性0.1℃。
