高新技術(shù)
問題
通常，如果襯底溫度太低，則半反應(yīng)可能不完全。如果襯底溫度高，則可能發(fā)生脫附或分解。為了準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)方案設(shè)定的溫度點(diǎn)，需要精心配置測溫儀表。
方案
提供兩種解決方案。一種是基于熒光技術(shù)的光纖溫度監(jiān)控解決方案。 該解決方案使用不受等離子體干擾的光纖探頭，溫度范圍 -100 °C 至 +330 °C. 另一個(gè)是光纖輻射高溫計(jì)，通常用于50 °C 以上的溫度范圍，但可以處理非常高的溫度。
客戶獲益
提高產(chǎn)量
更好的質(zhì)量
可在等離子增強(qiáng)系統(tǒng)環(huán)境工作
